記者6月16日從松山湖材料實(shí)驗(yàn)室獲悉，松山湖材料實(shí)驗(yàn)室精密儀器研發(fā)團(tuán)隊(duì)成功自研臺(tái)階儀，實(shí)現(xiàn)了國(guó)產(chǎn)化臺(tái)階儀零的突破，加速國(guó)產(chǎn)替代。
▲全國(guó)首臺(tái)國(guó)產(chǎn)化臺(tái)階儀
據(jù)悉，臺(tái)階儀，又名探針式表面輪廓儀，用于樣品表面從微米到納米尺度的輪廓測(cè)量，是微電子、半導(dǎo)體、太陽(yáng)能、高亮度LED、觸摸屏、醫(yī)療、科學(xué)研究和材料科學(xué)等領(lǐng)域不可缺少的關(guān)鍵測(cè)量設(shè)備。長(zhǎng)期以來(lái)，此類儀器被美國(guó)Bruker、美國(guó)KLA、日本Kosaka三家廠商壟斷，國(guó)內(nèi)尚無(wú)廠商可提供同類產(chǎn)品。
“臺(tái)階儀的研發(fā)，需要‘四個(gè)超’：超精細(xì)的運(yùn)動(dòng)控制，超精密位移傳感，超低噪聲信號(hào)采集，超高平整度零部件等關(guān)鍵技術(shù)?！眻F(tuán)隊(duì)負(fù)責(zé)人許智指出，松山湖材料實(shí)驗(yàn)室精密儀器研發(fā)團(tuán)隊(duì)在這些領(lǐng)域均有豐富的經(jīng)驗(yàn)積累和扎實(shí)的技術(shù)儲(chǔ)備。而且，基于此前自主研發(fā)的系列化壓電驅(qū)動(dòng)納米位移臺(tái)產(chǎn)品和掃描探針顯微鏡制備技術(shù)，可以快速完成方案設(shè)計(jì)，并開(kāi)始功能樣機(jī)、工程樣機(jī)的迭代開(kāi)發(fā)。
據(jù)悉，該項(xiàng)目2020年12月內(nèi)部立項(xiàng)，2021年5月，測(cè)試樣品，2022年4月，樣機(jī)進(jìn)產(chǎn)線調(diào)試，2022年6月，正式機(jī)臺(tái)投入使用。至此，國(guó)產(chǎn)化臺(tái)階儀邁出了里程碑式一步。
“關(guān)鍵測(cè)量?jī)x器設(shè)備實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化，最關(guān)鍵之處就在于實(shí)現(xiàn)了自主可控。現(xiàn)已交付的臺(tái)階儀可滿足企業(yè)實(shí)際使用的指標(biāo)要求，且對(duì)比同類進(jìn)口設(shè)備，成本降低了約30%?！痹S智表示。
▲精密儀器研發(fā)團(tuán)隊(duì)臺(tái)階儀項(xiàng)目組
值得一提的是，項(xiàng)目組研制了三種不同測(cè)試需求的型號(hào)，可供客戶根據(jù)需要選擇相應(yīng)配置，并配套自研軟件實(shí)時(shí)顯示測(cè)量圖表數(shù)據(jù)。目前，團(tuán)隊(duì)正在與十余家有相關(guān)需求的企業(yè)、科研院所洽談合作中。
據(jù)悉，松山湖材料實(shí)驗(yàn)室精密儀器研發(fā)團(tuán)隊(duì)以自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的技術(shù)為核心，開(kāi)展精密科研儀器和工業(yè)自動(dòng)化設(shè)備的產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)化。其研發(fā)的桌面式掃描電子顯微鏡、大行程納米位移臺(tái)等產(chǎn)品為國(guó)內(nèi)唯一量產(chǎn)，等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)、掃描隧道顯微鏡系統(tǒng)等產(chǎn)品達(dá)到國(guó)際一流、國(guó)內(nèi)領(lǐng)先水平。
“精密儀器研發(fā)團(tuán)隊(duì)以國(guó)家戰(zhàn)略為導(dǎo)向，以市場(chǎng)需求為目標(biāo)，力爭(zhēng)成為有擔(dān)當(dāng)、有作為的尖端儀器產(chǎn)業(yè)化隊(duì)伍?！痹S智表示。